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空气喷射真空泵

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空气喷射真空泵是一种旋转式变容

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空气喷射真空泵是一种旋转式变容

发布日期:2020-06-08 作者: 点击:

正确地挑选真空泵的作业点。每种泵都有必定的作业压强规模,如:分散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强规模内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的作业压强规模为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的作业点应该选在这个规模之内,而不能让它在10-8mmHg下长时间作业。又如钛升华泵能够在10-2mmHg下作业,但其作业压强应小于1×10-5mmHg为好。

真空泵在其作业压强下,应能排走真空设备工艺过程中发生的全部气体量。

正确地组合真空泵。由真空泵有挑选性抽气,因而,有时选用一种泵不能满意抽气要求,需求几种泵组合起来,互相补充才能满意抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三型溅射离子泵,(或二型非对称阴溅射离子泵)对氩有必定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。别的,有的真空泵不能在大气压下作业,需求预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需求前级泵,故都需求把泵组合起来运用。

空气喷射真空泵


真空泵是一种旋转式变容,真空泵须有前级泵合作方可运用在较宽的压力规模内有较大的抽速,对被抽除气体中含有尘埃和水蒸汽不敏感。那么真空泵之所以有如此优势,这与其传动方式也有很大的联络。

真空泵的两个转子是经过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。自动轴经过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种,其间一种是电动机与齿轮放在转子的同一侧。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动,这样自动转子轴的改变变形小,则两个转子之间的间隙不会因自动轴的改变变形大而改变,故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。

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